蚀刻系数（校正值）

表示侧面蚀刻程度的值。深度方向的蚀刻量为D，横向蚀刻量（侧面蚀刻）的单面蚀刻量为R，则该值用D/R来表示。通常为1.5～3.5左右，该值越大，表示蚀刻的精度越高。蚀刻系数因材料、蚀刻液的种类、条件等而有所差异。