侧面蚀刻

主要是在湿蚀刻加工中引发的特有现象。用喷嘴上下喷淋蚀刻液并贯穿材料，在纵向进行蚀刻的同时，横向也会被蚀刻。平行方向被蚀刻的量被称为侧面蚀刻。