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技术用语集:蚀刻加工工序

显影

对于曝光后的材料表面残留多余的光刻胶进行溶解的工序。使用负型光刻胶时,曝光部分成像,使用正型光刻胶时,未曝光部分成像。本公司利用显影机喷淋显影液,然后进行水洗和热处理(烘焙)。显影后加热可以使光刻胶部分发生硬化,从而对蚀刻液保持耐久性。若想了解其他详细内容或有任何疑问等,请联系我们。