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用語集:その他

フォトマスク/ガラスマスク

光を透過する基板上に、遮光物質の薄膜によってパターンを形成したものがフォトマスクです。露光によって金属表面のフォトレジスト層にパターンを転移するのに用います。弊社では、ポリエステルのフィルムマスク(所謂、エマルジョンマスク)、場合によりガラスマスクを使用しております。主にフィルムマスクを使用することで、試作最短2日という短納期を実現しております。