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用語集:エッチング工程

露光

コーティングされたフォトレジストに、光を照射する工程です。フォトマスクの上から露光をすることで、製品のパターンが材料に転写されます。弊社においては塵埃の付着を防ぐため、作業は全てクリーンルームで行っております。また、最大露光可能サイズは500×2,000mmであり、自動露光機による量産対応も可能(サイズについては要相談)ですが、その他詳細やご質問等はご連絡下さい。