Knowledge Base

用語集:エッチング工程

現像

露光後の材料表面に残った不要なレジスト部分を溶解除去する工程です。ネガタイプレジストを使用した場合は露光部分が、ポジタイプを用いた場合は露光されていない部分が画像として残ります。弊社では現像機にて現像液をスプレー噴射、その後に水洗・熱処理(ポストベーキング)を行っています。現像後に加熱をすることで、レジスト部分を硬化させ、エッチング液に対しての耐久性を持たせます。その他詳細やご質問等はご連絡下さい。